Студопедия — Методы нанесения фоторезистивных покрытий. Операции совмещения и экспонирования. Контактная, бесконтактная и проекционная печать
Студопедия Главная Случайная страница Обратная связь

Разделы: Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

Методы нанесения фоторезистивных покрытий. Операции совмещения и экспонирования. Контактная, бесконтактная и проекционная печать






Методы нанесения ФР-покрытий

Центрифугирование заключается в нанесении на подложку в определенный дозе жидкого ФР, получают необходимую толщину за счет вращения ротора центрифуги с заданной скоростью. Процесс растекания происходит под действием центробежной силы и сил сопротивления, обусловленных вязкостью жидкости

Пульверизация – формирование слоя фоторезиста происходит из осажденных на подложку дискретных капель, которые, перекрываясь, образуют сплошной слой.

Распылительная установка имеет емкость с фоторезистом. Из этой емкости под давлением фоторезист подается в пульверизатор, туда же по трубопроводу подается газ – носитель, например, сжатый чистый воздух.

Погружение в раствор - самый простой способ нанесения ФР

Недостатки:Неравномерность толщиныНеизбежное двустороннее покрытие

На практике чаще всего наносят ФР толщиной 0,5 -1,5 мкм, разрешающая способность 200-500 линий на 1 мм.

Методы сушки

1-конвективная; 2-инфракрасная; 3- СВЧ

· Конвективная – выполняется в термостатах при температуре порядка до 120°С. Время сушки 15-30 минут.

· Инфракрасная – в инфракрасных печах, 5-15 минут. Пример установки инфракрасной сушки УИС-1.

· СВЧ – осуществляется в СВЧ печах мощностью 200-400 Вт, на частоте 2,45 ГГц. Время сушки – 1секунда

Формирование фоторезистивной маски

Включает в себя совмещение и экспонирование, проявление и термообработку (2-я сушка)

Совмещение и экспонирование

Ультрафиолетовому облучению подвергаются только локальные участки фоторезиста в соответствии с тем рисунком, который надо получить на подложке. Для этого проекцию рисунка фотошаблона совмещают с рабочим полем подложки или с рисунком предыдущего слоя микросхем.

В зависимости от расстояния между ФШ и подложкой различают:

контактную печать (контактная ФЛ), бесконтактную печать, проекционную печать.

Контактная ФЛ– является самым первым методам формирования рисунка. ФШ плотно накладывается на покрытую ФР пластину и экспонируется. Плотность достигается вакуумным прижимом. Разрешающая способность R-2 мкм, ограничивается дифракционными эффектами.

Бесконтактная ФЛ – экспонирование с сохранением микрозазора между фотошаблоном и подложкой. Этот метод уменьшает количество дефектов, возникающих из-за плотного контакта, однако дифракция проходящего света уменьшает R, и уменьшает четкость рисунка, R~7мк.

Проекционная печать – совмещение и экспонирование осуществляется с помощью системы линз, в этом случае ФШ может использоваться бесконечное число раз, т.е. оправдывается использование дорогих ФШ. R определяется глубиной резкости оптической системы, которая должна быть менее 10 мкм, R- 5 мк







Дата добавления: 2015-04-19; просмотров: 741. Нарушение авторских прав; Мы поможем в написании вашей работы!



Обзор компонентов Multisim Компоненты – это основа любой схемы, это все элементы, из которых она состоит. Multisim оперирует с двумя категориями...

Композиция из абстрактных геометрических фигур Данная композиция состоит из линий, штриховки, абстрактных геометрических форм...

Важнейшие способы обработки и анализа рядов динамики Не во всех случаях эмпирические данные рядов динамики позволяют определить тенденцию изменения явления во времени...

ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА Статика является частью теоретической механики, изучающей условия, при ко­торых тело находится под действием заданной системы сил...

Сосудистый шов (ручной Карреля, механический шов). Операции при ранениях крупных сосудов 1912 г., Каррель – впервые предложил методику сосудистого шва. Сосудистый шов применяется для восстановления магистрального кровотока при лечении...

Трамадол (Маброн, Плазадол, Трамал, Трамалин) Групповая принадлежность · Наркотический анальгетик со смешанным механизмом действия, агонист опиоидных рецепторов...

Мелоксикам (Мовалис) Групповая принадлежность · Нестероидное противовоспалительное средство, преимущественно селективный обратимый ингибитор циклооксигеназы (ЦОГ-2)...

Обзор компонентов Multisim Компоненты – это основа любой схемы, это все элементы, из которых она состоит...

Кран машиниста усл. № 394 – назначение и устройство Кран машиниста условный номер 394 предназначен для управления тормозами поезда...

Приложение Г: Особенности заполнение справки формы ву-45   После выполнения полного опробования тормозов, а так же после сокращенного, если предварительно на станции было произведено полное опробование тормозов состава от стационарной установки с автоматической регистрацией параметров или без...

Studopedia.info - Студопедия - 2014-2024 год . (0.01 сек.) русская версия | украинская версия