Изменение кон-центрации ХАЧ в слое за время . При этом создается ХАЧ, а убыль составит .
Поток ХАЧ - газовый и - диффузионный. Тогда поток ХАЧ Где – коэффициент диффузии ХАЧ. Подставив (32) в (31) получим
Диссоциация молекул рабочего газа электронным ударом определяет скорость генерации энергетических и химически активных частиц: где ‑ концентрация электронов, ‑ концентрация молекул, образующих ХАЧ, ‑ энергия электронов, ‑ масса электрона, ‑ пороговая энергия процесса диссоциации, ‑ сечение взаимодействия электронов и молекул, ‑ функция распределения электронов по энергиям. Для максвелловского распределения электронов по энергиям получаем
Скорость исчезновения ХАЧ вследствие процессов рекомбинации имеет вид:
где Если Процессы диссоциации и рекомбинации в плазме находятся в равновесии, приравняв (34) и (36), получим уравнение непрерывности для ХАЧ:
Где. Решая уравнение (37), находим концентрацию ХАЧ:. Механизмы формирования химически активной плазмы и образование ХАЧ.
|
- поток ХАЧ, втекающий в слой 
, а 
- вытекающий. Тогда 
- уравнение непрерывности для ХАЧ в плазме. (31)
(32)
- уравнение непрерывности для ХАЧ. (33)
(34)
, (35)
‑ соответственно диаметр, температура, молекулярная масса и концентрация ХАЧ, NГ = 8,3 Дж/(моль×К) ‑ концентрация молекул в моле объема газа, 
‑ концентрация атомов вещества газа.
- начальная, а 
- конечная концентрации ХАЧ, то 
, тогда 
(36)
, (37)
