Студопедия — ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Студопедия Главная Случайная страница Обратная связь

Разделы: Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС






3.1 ПИРОГЕННОЕ ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ

Настоящая операционная карта определяет порядок работ при выполнении высокотемпературной обработки пластин на системе диффузионной однозонной типа Оксид-3ПО, а так же процессов термического окисления, осуществляемых пирогенным способом.

 

3.2 ПОДГОТОВКА РАБОЧЕГО МЕСТА

3.2.1 Обязанности наладчика

3.2.1.1 Произвести внешний осмотр системы и убедиться в отсутствии видимых дефектов и повреждений.

3.2.1.2 Проверить заземление установок.

3.2.1.3 Убедиться, что автоматы СЕТЬ, тумблеры и кнопки на блоках и панелях находятся в выключенном состоянии.

3.2.1.4 Подать воду на электропечь, газовый шкаф и скруббер, и убедиться в протоке воды на сливе.

3.2.1.5 Проверить давление хлористого водорода по манометру на баллоне. Давление не должно быть менее 5´105 Па. Если давление в баллоне меньше указанного, к работе не приступать, заменить баллон.

3.2.1.6 Проверять герметичность соединений в газобаллонном шкафу с помощью 10% раствора аммиака после ремонта, замены элементов газовой разводки, замены баллона следующим образом:

- накапать на вату по несколько капель 10% раствора аммиака;

- поднести вату к местам соединений в газовой системе;

- при появления белого дыма закрыть баллон с хлористым водородом, устранить неисправность.

На шкафу должна находиться схема газовой разводки.

Примечание – При малейших признаках утечки газа закрыть баллон, дверь шкафа, прекратить работу и сообщить мастеру о неисправности.

3.2.1.7 Установить вращением вентиля редуктора по часовой стрелке на манометре давление хлористого водорода на выходе (1,5-2)´105 Па.

3.2.1.8 Открыть входные краны устройства газораспределения в соответствии с техническим описанием.

3.2.1.9 Открыть краны по каналам для азота, водорода, кислорода.

3.2.1.10 Установить рабочее давление газов в устройстве газораспределения для каждого канала регуляторами давления по манометрам (1,5-2)´105 Па.

3.2.1.11 Подать сжатый воздух на устройства управления заслонками. Установить давление сжатого воздуха (1,5 - 2) ×105 Па по манометру.

3.2.1.12 Установить с помощью ротаметра расход азота на заслонку

(100-120) л/ч.

3.2.1.13 Отжать кнопки аварийного отключения питания на системе загрузочной, на панели управления и сигнализации в газовом шкафу.

3.2.1.14 Нажать кнопку РАР на панели управления системы загрузочной.

3.2.1.15 Нажать кнопку СЕТЬ на панели управления и сигнализации установки. На блоках управления нагнетателями воздуха должны загореться лампы СЕТЬ. На панели управления блока управления дисплеем должны включиться светоиндикаторы +5В, ТРЕВОГА В,С,Н, СБРОС ЭВМ В,С,Н и звуковая сигнализация.

3.2.1.16 Установить переключатели АВТОМАТ-ДИСТАН. на блоках управления нагнетателями в положение ДИСТАН, нажать кнопку НАГНЕТАТЕЛЬ ПУСК на панели управления и сигнализации, при этом должны включиться светоиндикаторы НАГНЕТАТЕЛИ 1,2,3.

3.2.1.17 Нажать кнопки ВЫКЛ-ВКЛ на устройствах индикации электропечи. Должны включиться светоиндикаторы 220 В зеленого цвета.

3.2.1.18 На лицевых панелях блоков управления установить переключатели ПРОГРАММА-ПУЛЬТ в положение ПРОГРАММА, а переключатели ТАЙМЕР в верхнее положение.

3.2.1.19 Нажать кнопки переключателей СБРОС ЭВМ В, С, Н на панели управления, включить переключатели СЕТЬ на лицевых панелях блоков управления.

Должны включиться светоиндикаторы СЕТЬ, ПИТАНИЕ зеленого цвета и светоиндикаторы РАБОТА, ТАЙМЕР красного цвета.

Кнопка СБРОС ЭВМ В,С,Н не фиксированная, ее нужно нажимать в момент включения переключателя СЕТЬ.

3.2.1.20 Нажать кнопку СЕТЬ дисплея. На лицевой панели дисплея должен включиться светоиндикатор СЕТЬ красного цвета.

3.2.1.21 Нажать кнопку нагрев ВКЛ на панели управления.

3.2.1.22 Нажать кнопку РАР на панели управления и установить переключатель ДИСПЛЕЙ в положение для работы с выбранным каналом.

3.2.1.23 Перевести блок управления на нулевой интервал, последовательно нажав клавиши , , на клавиатуредисплея.

Примечание – Нулевой интервал является исходным для запуска технологической программы, подачи в реактор печи рабочих газов и вывода температуры.

3.2.1.24 Нажать на клавиатуре дисплея клавиши , , , . На экране появятся технологические параметры, запрограммированные на нулевом интервале того канала, на котором установлен переключатель ДИСПЛЕЙ.

3.2.1.25 Проверить схему газовой разводки на соответствие рисунку 1.

3.2.1.26 Провести контрольный поджиг водорода на каждом канале с записью в журнале готовности оборудования к работе следующим образом:

- установить переключатель ДИСПЛЕЙ на панели управления для работы с выбранным каналом;

- установить управляющую программу на интервал «сухое окисление»;

- установить «стоп» программы и выждать примерно 10 мин до разогрева камеры блока пирогенного окисления (БПО) до (800-850)0С;

- продолжить программу: «пуск водорода», «поджиг», «горение», «пирогенное окисление»;

- убедиться в том, что температура газа в БПО, расходы водорода и кислорода соответствуют заданию управляющей программы, водород горит плавно, без скачков, пламя голубого цвета;

- продолжить процесс в течение 5-10 мин;

- перейти на интервал «продувка» магистралей водорода и хлористого водорода;

- продуть систему в течение 5-10 мин;

- перейти на интервал «начало», «ожидание».

Контрольный поджиг проводить после замены элементов газовой разводки, спирали в блоке пирогенного окисления (БПО), модулей блока управления, перезаписи управляющей программы, после включения оборудования, перерывах в работе свыше 24 ч., по указанию технолога.

Примечание – Категорически запрещается проводить поджиг водорода без включения нагрева реактора, температура реактора должна быть не меньше 6000С.

3.2.1.27 Перевести систему в исходное состояние по команде АВАРИЙНЫЙ СБРОС, нажимая последовательно клавиши , , , , , при отклонении расхода газов от нормы, при несоответствии температуры БПО, при отсутствии сигнала датчика пламени, о чем свидетельствует появление на экране дисплея надписи ТРЕВОГА и внешней звуковой сигнализации (ВЗС).

3.2.1.28 Найти и устранить причину неисправности, после чего повторить контрольный поджиг, предварительно переведя систему из исходного состояния на нулевой интервал.

Примечание – При проведении ремонтных работ перекрыть кран подачи водорода в канал системы диффузионной.

3.2.1.29 Проверить состояние системы загрузочной бесконтактной. Загрузочная система каждого канала должна находиться в крайнем правом положении, заслонка должна быть закрыта. Если система находится в каком-то другом положении, то необходимо нажать кнопку ВЫГР переключателя ЗАГР-ВЫГР на панели управления соответствующего канала. После остановки системы и закрытия заслонки отжать кнопку ВЫГР.

3.2.1.30 Проверять положение консольного загрузчика относительно оси реактора после замены консоли, реактора, по указанию технолога.

3.2.1.31 Проводить юстировку консольного загрузчика после замены реактора, при несоосности консольного загрузчика реактору, по указанию технолога.

3.2.1.32 Проверить время загрузки-выгрузки по дисплею. При необходимости отрегулировать.

3.2.1.33 При использовании системы управления на базе компьютера в меню «Настройки» выбрать закладку «Задание». Под мнемосхемой откроется таблица, в которой будет отображаться текущее состояние выбранного канала.

3.2.1.34 Включить нагрев реактора задав в окне «Т, град» требуемое значение температуры реактора. Процесс выхода реактора на заданную температуру можно контролировать по показаниям индикаторов «Лев», «Центр», «Прав» или визуально по графикам. Для этого необходимо перейти в закладки «Графики».

3.2.1.35 Измерять температуру в начале, середине и конце рабочей зоны каждой камеры электропечи диффузионной системы согласно СФНК.25001.00009 «Измерение температуры на операциях термодиффузии».

Примечание – При использовании системы управления на базе компьютера, измерение температуры проводить после включения, ремонта, по указанию технолога.

3.2.1.36 Вычислить температурные поправки и заполнить таблицы корректировки при выводе установки на технологический режим с помощью контрольного преобразователя термоэлектрического с индивидуальной градуировкой для системы управления БУ-4 «Орион-4».

3.2.1.37 Проводить один раз в месяц замену фильтрующего материала в фильтродержателях газовой системы для кислорода, азота, водорода и один раз в неделю для хлористого водорода с записью в журнале по форме приложения А СТО И4.87 – 2013 «СМК. Газы очищенные. Технические требования по эксплуатации газовых систем».

3.2.1.38 Проводить проверку герметичности газовой системы обмыливанием после проведения ремонта, пылеуборки, замены трубопроводов, сборки газовой разводки, замены фильтров, замены РРГ с регистрацией в журнале проверки на плотность трубопроводов газов по форме, приведённой в приложении В СТО И4.87 – 2013.

3.2.1.39 Проверять ежесменно герметичность магистралей хлористого водорода с помощью 10% раствора аммиака согласно п.2.1.6 с регистрацией в журнале проверки на плотность трубопроводов газов по форме, приведённой в приложении В СТО И4.87 – 2013.

3.2.1.40 Проводить проверку герметичности между реактором и кварцевой заслонкой по указанию технолога.

3.2.1.41 Проводить один раз в год и после замены лампы замер освещённости лампы осветителя люксметром Ю-116 на расстоянии от 10 до 15 см от осветителя. Замер проводить при токе 6,8-7,5 А для осветителей, блоки питания которых укомплектованы амперметрами и 6-8 В для осветителей с блоками питания-вольтметрами.

Результаты фиксировать в журнале «Замер освещенности» согласно приложению А. Освещённость должна составлять не менее 18000лк.

3.2.2 Обязанности оператора

3.2.2.1 Принять смену у операторов предыдущей смены.

3.2.2.2 Проверить записи по журналам контроля параметров технологического микроклимата на соответствие требованиям СТО И4.70-2013 «СМК. Требования, обеспечение и контроль электронной гигиены».

Проводить операцию при соблюдении следующих требований параметров микроклимата:

- в рабочем помещении запылённость не должна превышать 35 частиц размером 0,5 мкм в одном литре воздуха;

- в рабочем объёме обеспыливающей зоны запылённость не должна превышать 3,5 частиц размером 0,5 мкм в одном литре воздуха;

- допустимое значение температуры в производственном помещении должно быть в пределах (20-24)0С;

- относительная влажность воздуха должна соответствовать

(45±5) %.

3.2.2.3 Подготовить рабочее место согласно требований СТО И4.70-2013, используя ткань хлопчатобумажную и воду.

3.2.2.4 Убедиться перед началом работы, что система диффузионная готова к работе, о чём должна быть сделана запись наладчика в журнале готовности оборудования к работе. При отсутствии записи о готовности оборудования к работе не приступать.

 

На электропечи должна быть надпись, определяющая за какой операцией она закреплена.

3.2.2.5 Убедиться в том, что все встроенные в системе диффузионной средства измерений (СИ) поверены управлением метрологии (УМ).

3.2.2.6 Проверить по записям в журнале периодичность и сроки замены фильтров на газовых магистралях.

3.2.2.7 Проверить в начале каждой смены записи в журнале контроля качества газов на соответствие требованиям СТО И4.87 – 2013.

Требуемый уровень точки росы для азота марки А, кислорода и возду-ха – не более минус 660С, количество пылевидных частиц размером 0,5 мкм – не более 2шт/л.

В случае несоответствия параметров газов сообщить об этом мастеру.

3.2.2.8 Проверить по записям в журнале готовности оборудования к работе проведение контрольного поджига, температура должна соответствовать значениям, указанным в сопроводительном листе и соответствующей таблице карты.

3.2.2.9 Проверить по сопроводительным листам сроки службы и обработки на кварцевую оснастку на соответствие требованиям 7628573.25301.00001 «Подготовка оснастки для термодиффузионных операций».

Оснастка должна быть прозрачной, без трещин, пятен, подтёков, разводов, с оплавленными поверхностями реза. Наличие окраски кварца не допускается.

3.2.2.10 Проверить чистоту вакуумного пинцета, для чего:

- взять из контейнера вакуумным пинцетом контрольную пластину любого типономинала согласно дРО.754.939 ТК «Формирование партий пластин», прошедшую операцию химической обработки согласно дРО.032.037 ТК «Химическая обработка пластин, снятие диффузионного стекла», за непланарную сторону;

- проконтролировать в сфокусированном свете наличие светящихся точек на планарной стороне контрольной пластины;

- поместить пластину в кассету;

- взять вакуумным пинцетом контрольную пластину за планарную сторону и сразу отпустить;

- достать из кассеты вакуумным пинцетом контрольную пластину за непланарную сторону;

- проконтролировать наличие следов вакуумного пинцета и количество светящихся точек в сфокусированном свете на планарной стороне;

- сравнить результаты контроля. В случае появления следов вакуумного пинцета на пластине или прироста светящихся точек на планарной стороне протереть наконечник пинцета салфеткой, смоченной спиртом, и проконтролировать чистоту на другой контрольной пластине. Запрещается наконечник пинцета брать руками.

3.2.2.11 Проверить чистоту в зоне загрузки пластин в диффузионную печь, для чего:

- взять из контейнера контрольную пластину любого типономинала согласно дРО.754.939 ТК «Формирование партий пластин», прошедшую операцию химической обработки согласно дРО.032.037 ТК «Химическая обработка пластин, снятие диффузионного стекла»;

- проверить поверхность контрольной пластины в сфокусированном свете и сосчитать количество светящихся точек;

- поместить пластину в зону загрузки диффузионной печи;

- повторить контроль через час работы.

Не допускается прирост точек более трёх. В случае прироста светящихся точек более трёх провести влажную уборку рабочего места, проверить работу пылезащитной зоны и повторить контроль. Контроль проводить ежесменно.

3.2.2.12 Проверить чистоту процесса на контрольной пластине, для чего:

- чистую контрольную пластину проверить под источником сфокусированного света, посчитать количество светящихся точек;

- поставить контрольную пластину в кварцевую кассету вакуумным пинцетом;

- загрузить кассету в реактор;

- выдержать кассету с пластиной в течение 30 мин в среде рабочих газов;

- выгрузить кассету из реактора;

- проконтролировать в сфокусированном свете, посчитать коли-чество светящихся точек;

- сделать запись в операционном журнале.

Не допускается прирост светящихся точек более трёх. В случае прироста светящихся точек более трёх проверить запылённость технологических газов, кварцевую кассету на наличие следов раскварцовки, провести очистку кварцевой трубы согласно дРО.045.449 ТК «Очистка кварцевых труб», продуть, повторить процесс на чистой контрольной пластине. При повторном отрицательном результате работы прекратить и сообщить мастеру. Контроль проводить ежесменно. Допускается совмещать контроль чистоты процесса с контрольным процессом на параметры.

3.2.2.13 Проводить контрольный процесс по рабочим режимам согласно таблиц карты один раз в сутки (при отсутствии рабочих процессов), в случае замены трубы, кассеты, в случае отсутствия в течении более двух часов подачи в реактор кислорода или азота, по указанию технолога. При измерении диффузионных параметров проводить:

- замер толщины окисла (dx) согласно дРО.754.839 ТК «Определение толщины плёнок», СФНК.25202.00007 «Контроль толщины диэлектрических плёнок на установке для измерения толщин слоёв «MPV-SP» KCHE.442241.001», 7629891.60203.00014 «Контроль толщины диэлектрических плёнок»;

- замер вольт-фарадных характеристик (Uпор, Qss) на контрольной пластине (КЭФ 20 или КЭФ 4,5) еженедельно и после замены трубы согласно СФНК.25001.00006 «Снятие вольт-фарадных характеристик». Плотность поверхностного заряда (Qss) должна быть:

а) для плёнок оксида толщиной до 0,1 мкм - 2×1011 см-2;

б) более 0,1 мкм – не выше 6×1011 см-2;

- замер поверхностного сопротивления (Rs)согласно дРО.754.837 ТК «Измерение поверхностного сопротивления», Я50.032.847 ТК «Измерение поверхностного сопротивления диффузионного слоя»;

- замер глубины диффузионного слоя (Xj) согласно дРО.754.838 ТК «Определение глубины диффузионного слоя».

Перед замером поверхностного сопротивления и глубины диффузионного слоя с контрольных пластин (спутников) проводить снятие оксида кремния (SiO2) в растворе фтористоводородной кислоты с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой пистолетом обдувочным.

В случае несоответствия параметров требованиям таблиц карты соответствующего технологического процесса рабочие процессы не проводить, сообщить технологу.

2.2.14 Продувать реактор вместе с кассетами хлористым водородом после обработки кварцевой оснастки, после измерения температуры в реакторе, в случае получения результатов по пороговому напряжению (Uпор) и плотности заряда (QSS) не соответствующих значениям таблиц, по указанию технолога.

Примечание – Для изделий производственно-технического назначения и народного потребления проводить контрольный процесс на дефектность по указанию технолога;

- для биполярных микросхем на операции «Окисление 1» следующим образом:

а) снятие окисла кремния до кремния в травителе (HF:H2O=1:3);

б) химическая обработка, смесь КАРО;

в) травление в травителе «Сиртла» пластин с ориентацией (111), время травления (1-3) мин;

г) травление в травителе «Секко» пластин с ориентацией (100), время травителя (1-3) мин.

Примечание – Проводить контрольный процесс на дефектность по указанию технолога;

- для диодов Шоттки на операции «Разгонка охранного кольца» следующим образом:

а) химическая обработка, смесь КАРО, ПАР-5;

б) термическое окисление, разгонка;

в) вторая фотолитография;

г) ультрафиолетовое дубление;

д) травление окисла в травителе №16;

е) удаление фоторезиста;

ж) химическая обработка, смесь КАРО, ПАР-5;

з) травление в травителе «B.I.C.».

Примечания

1 Контрольный процесс на дефектность проводить по указанию технолога.

2 Рабочую пластину повторно обработать в травителе «B.I.C» в течение 1 минуты и подставить в рабочую партию.

3.2.2.16.1 Провести контроль пластин под микроскопом при увеличении 200х-400х совместно с технологом. Дефекты должны отсутствовать. Результаты проведения работ записать в операционный журнал.

3.2.2.16.2 При наличии дефектов на пластине, пластину передать на анализ технологу, диффузионный канал не использовать до проведения анализа.

3.2.2.17 Проводить статистическое регулирование диффузионных параметров (dx, Rs, Xj) с использованием Х/R-карт согласно перечню приложения М СТО И4.76 – 2013 «СМК. Статистическое регулирование технологических процессов».

Оператору провести измерение параметров с записью результатов измерений на бланке Х/R-карты, нанести на график Х/R-карты в виде точки, соединить сплошной линией полученную точку с предыдущей.

Ежемесячно технолог (ведущий инженер-технолог) по данным контрольных карт проводит анализ руководствуясь СТО И4.76 – 2013.

1-регулятор расхода газов РРГ-7; 2-регулятор расхода газа РРГ-3; 3-камера; 4-реактор; К1- клапан для продувки азотом; К2-клапан для подачи азота в реактор; К3- клапан для продувки азотом линии водорода; К4-клапан подачи водорода в реактор; К5-клапан подачи кислорода процентного в реактор; К6-клапан подачи кислорода в реактор; К7-клапан подачи малого расхода кислорода в реактор; К8-клапан продувки азотом магистрали хлористого водорода; К9, К10-клапан подачи хлористого водоро

Рисунок 1 – Схема газовой разводки

 

 

3.3 ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС

3.3.2.1 Надеть маску и перчатки трикотажные, капроновые или 1 на большой, средний и указательный пальцы левой и правой рук.

3.3.2 Провести входной контроль рабочих партий на трех пластинах из партии под сфокусированным источником света на наличие пятен, подтеков, царапин, инородных включений. Внешний вид поверхности пластин должен соответствовать требованиям дРО.754.820 КК «Контроль качества обработки поверхности пластин». При несоответствии требованиям одной из пластин, партию передать на повторную химическую обработку согласно дРО.032.037 ТК «Химическая обработка пластин, снятие диффузионного стекла».

3.3.3 Проверить наличие контрольных пластин и пластин-спутников в партии. При отсутствии контрольных пластин и пластин-спутников партию в работу не принимать и предъявить мастеру или распределителю работ.

3.3.4 Проверить сопроводительный лист и убедиться в том, что количество пластин в партии соответствует количеству, указанному в сопроводительном листе, предыдущая операция выполнена. Срок хранения пластин должен соответствовать дРО.045.500 ТИ «Межоперационное хранение пластин» или Я50.046.350 ТИ «Межоперационные сроки и условия хранения пластин и кристаллов».

При обнаружении несоответствий партию в работу не принимать, сообщить мастеру.

3.3.5 Загрузить кассету пластинами с помощью вакуумного пинцета, ориентируя пластины базовым срезом вниз. Свободные пазы кассет заполнить балластными пластинами (при необходимости).

Пластины в партии должны располагаться по порядку номеров. При загрузке в процесс двух и более партий начинать расстановку пластин в кассету с партии с наименьшим номером, партия с наименьшим номером должна располагаться первой к потоку газа. Контрольные пластины на толщину окисла должны стоять в начале, середине и конце кассеты. Спутники для замера поверхностного сопротивления и глубины p-n перехода перед рабочими пластинами партий.

3.3.6 Поставить кассету с пластинами с помощью захвата на консольный загрузчик.

3.3.7 Выполнить переходы 4.5 – 4.6 для других партий пластин.

3.3.8 Установить переключатель ДИСПЛЕЙ в положение для работы с выбранным каналом.

3.3.9 Проверить технологическую программу и при необходимости (по результатам предыдущих процессов) откорректировать время основного интервала:

- установить переключатель ДИСПЛЕЙ на панели шкафа управления в положение В, С, Н (на выбранный канал);

- нажать последовательно клавиши , , ;

- установить необходимый номер интервала и выполнить перевод маркера нажатием клавиши , после чего высвечивается описание интервала;

- установить при необходимости длительность интервала, величину задания параметра, значение допустимого отклонения от уровня задания, перемещая маркер с помощью клавиш , , , на нужную позицию.

Примечание – Набрав новое значение параметра, обязательно нажать клавишу для его записи в память;

- нажать клавиши , , - появится описание следующего по порядку интервала;

- после просмотра или корректировки параметров всех интервалов программы технологического процесса нажать клавишу - система перейдет в главный указатель работ.

 
 
3.3.10 Установить дату и время нажатием клавиш,..

 
 
8,
 
3.3.11 Очистить диагностику, находясь в основном режиме, нажатием клавиш , ,, , ; нажатием клавиши - проверить; нажатием клавиш ,, на экране дисплея появятся параметры системы, которые необходимо контролировать в процессе отработки программы.

Х
 
3.3.12 Запустить на исполнение соответствующую технологическую программу нажатием клавиш , ,,, ,

Х
О
где Х- номер интервала согласно таблице на определённую операцию.

Примечание – Для сброса программы нажать клавишу вместо.

3.3.13 При использовании системы управления на базе компьютера проверить на дисплее компьютера наличие программы соответствующего технологического процесса.

Примечание – Проверку программы проводить только на «нулевом» реакторе.

3.3.14 Проверить соответствие технологической программы требованиям таблиц 1, 3, 7, 9, 10, 12 данной карты.

3.3.15 Открыть технологическую программу на рабочем столе управляющей программы на соответствующий реактор.

3.3.16 Запустить технологическую программу в автоматическом режиме, уровень доступа – оператор.

3.3.17 Контролировать во время процесса последовательность прохождения интервалов выбранной программы согласно таблиц 13-18 данной карты.

3.3.18 Выдержать кассеты с пластинами после окончания процесса на консольном загрузчике в течение 10-15 мин.

3.3.19 Перегрузить пинцетом контрольные пластины и спутники в отдельный контейнер для проведения измерений в соответствии с маршрутом изготовления изделий. Значения контролируемых параметров должны соответствовать требованиям, указанным в сопроводительных листах и таблицах 2, 4, 5, 6, 8, 11 данной карты. В случае несоответствия указанным требованиям сообщить технологу.

3.3.20 Перегрузить пластины из кассеты в контейнер с помощью вакуумного пинцета.

3.3.21 Проконтролировать первую и последнюю пластины партии (пятую и десятую или пятнадцатую и двадцатую) под сфокусированным источником света на наличие пятен, подтеков, царапин, инородных включений.

Внешний вид поверхности пластин должен соответствовать требованиям дРО.754.820 КК «Контроль качества обработки поверхности пластин». При несоответствии вышеуказанным требованиям одной из пластин, партию передать технологу.

3.3.22 Заполнить сопроводительный лист на партию, указав дату и время начала операции (заполняется до начала операции), время окончания операции, количество годных и забракованных пластин, номер камеры.

3.3.23 Заполнить операционный журнал, указав:

- дату, фамилию оператора, время начала процесса в графе «Дата, время»;

- номер партии в соответствующей графе;

- типономинал (наименование) изделия в графе «Тип изделия»;

- номер канала (реактора);

- длительность основных интервалов программы и расходы газов, использующиеся на данной операции, в графе «Технологический режим»;

- время окончания процесса в графе «Дата, время»;

- количество годных и забракованных пластин в соответствующих графах;

- результаты замера параметров в графе «Параметры».

При передаче процесса из смены в смену указать фамилию оператора, номер передаваемого временного интервала.

3.3.24 Ввести информацию по выполнению операции в автоматизированную систему оперативного управления кристальным производством (АСОУ КП).

3.3.25 Передать годные пластины на следующую операцию согласно сопроводительному листу. Несоответствующую продукцию передать технологу для анализа в соответствием с СТО И4.67 – 2013 «СМК. Порядок организации, учёта и анализа несоответствующей продукции в производстве».

 

Таблица 1 – Окисление 0,1,2,3; окисление 0,38 мкм (производство №3)

Но-мер интервала Наименование интервала Температура в реакторе, °С Время Расход газов, л/ч
мин с N2 O2 % O2м HCl H2 N2®H2 N2® HCl
  Начало 850±50 - - 500±50 - - - - 75±20 -
  Старт   - - 500±50 - - - - 75±20 -
  Загрузка 1     - 500±50 - - - - 75±20 -
  Загрузка 2       500±50 - - - - 75±20 -
  Загрузка 3       500±50 - - - - 75±20 -
  Загрузка 4   до полной остановки 500±50 - - - - 75±20 -
  Прогрев     - 500±50 - 20±2 - - 75±20 -
  Нагрев 1 850®940     500±50 - 20±2 - - 75±20 -
  Нагрев 2 940®950 10-20   500±50 - 20±2 - - 75±20 -
  Стабилизация 950±2     500±50 - 20±2 - - 75±20 -
  Сухое окисление 950±2   - - 500±50 - 10±1 - 75±20 -
  Пуск водорода 950±2 -   - 500±50 - 10±1   75®0 -
  Поджиг 950±2 -   - 500±50 - 10±1 0®75 - -
  Горение 950±2     - 500±50 - 10±1 75®750 - -
  Пирогенное окисление 950±2 t1 - - 500±50 - 10±1 750±75 - -
  Продувка 950±2   - 500±50 - - - - 75±20 75± 20
  Отжиг 950±2 t2 - 500±50 - - - - 75±20 -
  Охлаждение 950® 850   - 500±50 - - - - 75±20 -  
  Стабилизация 850*   - 500±50 - - - - 75±20 -  
  Выгрузка 1 850*   - 500±50 - - - - 75±20 -  
  Выгрузка 2 850*   - 500±50 - - - - 75±20 -  
  Выгрузка 3 850*     500±50 - - - - 75±20 -  
  Выгрузка 4 850*   - 500±50 - - - - 75±20 -  
  Выгрузка 5 850* до полной остановки   500±50 - - - - 75±20  
                           

 







Дата добавления: 2015-08-12; просмотров: 1331. Нарушение авторских прав; Мы поможем в написании вашей работы!



Функция спроса населения на данный товар Функция спроса населения на данный товар: Qd=7-Р. Функция предложения: Qs= -5+2Р,где...

Аальтернативная стоимость. Кривая производственных возможностей В экономике Буридании есть 100 ед. труда с производительностью 4 м ткани или 2 кг мяса...

Вычисление основной дактилоскопической формулы Вычислением основной дактоформулы обычно занимается следователь. Для этого все десять пальцев разбиваются на пять пар...

Расчетные и графические задания Равновесный объем - это объем, определяемый равенством спроса и предложения...

МЕТОДИКА ИЗУЧЕНИЯ МОРФЕМНОГО СОСТАВА СЛОВА В НАЧАЛЬНЫХ КЛАССАХ В практике речевого общения широко известен следующий факт: как взрослые...

СИНТАКСИЧЕСКАЯ РАБОТА В СИСТЕМЕ РАЗВИТИЯ РЕЧИ УЧАЩИХСЯ В языке различаются уровни — уровень слова (лексический), уровень словосочетания и предложения (синтаксический) и уровень Словосочетание в этом смысле может рассматриваться как переходное звено от лексического уровня к синтаксическому...

Плейотропное действие генов. Примеры. Плейотропное действие генов - это зависимость нескольких признаков от одного гена, то есть множественное действие одного гена...

ТЕХНИКА ПОСЕВА, МЕТОДЫ ВЫДЕЛЕНИЯ ЧИСТЫХ КУЛЬТУР И КУЛЬТУРАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРООРГАНИЗМОВ. ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОЛИЧЕСТВА БАКТЕРИЙ Цель занятия. Освоить технику посева микроорганизмов на плотные и жидкие питательные среды и методы выделения чис­тых бактериальных культур. Ознакомить студентов с основными культуральными характеристиками микроорганизмов и методами определения...

САНИТАРНО-МИКРОБИОЛОГИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВОДЫ, ВОЗДУХА И ПОЧВЫ Цель занятия.Ознакомить студентов с основными методами и показателями...

Меры безопасности при обращении с оружием и боеприпасами 64. Получение (сдача) оружия и боеприпасов для проведения стрельб осуществляется в установленном порядке[1]. 65. Безопасность при проведении стрельб обеспечивается...

Studopedia.info - Студопедия - 2014-2024 год . (0.01 сек.) русская версия | украинская версия