Конец травление – резкое падение линий Al и возврат линии Cl2 к первоначальному значению.Определение состава газовой среды в процессе плазменной обработки поверхности. Снимая эмиссионный- и масс- спектры газовой среды при плазменной обработке поверхности можно определить состав плазмы и изменение концентрации её химических компонентов. Это позволит определить не только параметры компонентов плазмы, но и контролировать ход процессов обработки.
Рис.16. Эмиссионный спектр при травлении нитрида кремния в смеси 92%CFu-8%O2
Рис. 17. Масс-спектр при травлении нитрида кремния в SiF6.
|
