Студопедия — Если в плазму инертного газа добавить хладон (CF4), при выполнении условий уравнения непрерывности, будет протекать процесс образования и исчезновения ХАЧ.
Студопедия Главная Случайная страница Обратная связь

Разделы: Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

Если в плазму инертного газа добавить хладон (CF4), при выполнении условий уравнения непрерывности, будет протекать процесс образования и исчезновения ХАЧ.






В плазме происходят процессы диссоциации и ионизации молекул, приводящих к образованию ХАЧ:

(38)

(39)

(40)

Более вероятны реакции (39), (40), как имеющие меньшие энергии активации. Энергетически выгоднее реакция (40), так как у фтора больше сродство к электрону. Однако реакция (40) имеет продолжение:.

В итоге, в плазме происходит образование свободных радикалов фтора (F•) и фторуглерода (C). Эти частицы являются основными ХАЧ в плазме CF4.

Процесс рекомбинации, при котором происходит исчезновение ХАЧ, протекает при реакции:

(гетерогенная реакция)

Здесь П – поверхность твердого тела.

(гомогенная реакция)

Здесь M – другая частица плазмы (обычно CF4).

Кроме этого в плазме протекают реакции с образованием свободных радикалов разной валентности:

Доставка энергетических и химически активных частиц к поверхности обрабатываемого материала

Условия протекания гетерогенной химической реакции с учетом ХАЧ:

- обеспечение достаточной концентрации ХАЧ;

- непрерывная доставка ХАЧ к поверхности;

Непрерывный отвод продуктов реакции от поверхности.

При характерном размере реактора длины свободного пробега молекул ХАЧ – доставка посредством молекулярного потока. При посредством диффузионного потока.

(41)

Где - константа скорости химической реакции.







Дата добавления: 2015-08-31; просмотров: 404. Нарушение авторских прав; Мы поможем в написании вашей работы!



Функция спроса населения на данный товар Функция спроса населения на данный товар: Qd=7-Р. Функция предложения: Qs= -5+2Р,где...

Аальтернативная стоимость. Кривая производственных возможностей В экономике Буридании есть 100 ед. труда с производительностью 4 м ткани или 2 кг мяса...

Вычисление основной дактилоскопической формулы Вычислением основной дактоформулы обычно занимается следователь. Для этого все десять пальцев разбиваются на пять пар...

Расчетные и графические задания Равновесный объем - это объем, определяемый равенством спроса и предложения...

Хронометражно-табличная методика определения суточного расхода энергии студента Цель: познакомиться с хронометражно-табличным методом опреде­ления суточного расхода энергии...

ОЧАГОВЫЕ ТЕНИ В ЛЕГКОМ Очаговыми легочными инфильтратами проявляют себя различные по этиологии заболевания, в основе которых лежит бронхо-нодулярный процесс, который при рентгенологическом исследовании дает очагового характера тень, размерами не более 1 см в диаметре...

Примеры решения типовых задач. Пример 1.Степень диссоциации уксусной кислоты в 0,1 М растворе равна 1,32∙10-2   Пример 1.Степень диссоциации уксусной кислоты в 0,1 М растворе равна 1,32∙10-2. Найдите константу диссоциации кислоты и значение рК. Решение. Подставим данные задачи в уравнение закона разбавления К = a2См/(1 –a) =...

Сущность, виды и функции маркетинга персонала Перснал-маркетинг является новым понятием. В мировой практике маркетинга и управления персоналом он выделился в отдельное направление лишь в начале 90-х гг.XX века...

Разработка товарной и ценовой стратегии фирмы на российском рынке хлебопродуктов В начале 1994 г. английская фирма МОНО совместно с бельгийской ПЮРАТОС приняла решение о начале совместного проекта на российском рынке. Эти фирмы ведут деятельность в сопредельных сферах производства хлебопродуктов. МОНО – крупнейший в Великобритании...

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЦЕНТРА ТЯЖЕСТИ ПЛОСКОЙ ФИГУРЫ Сила, с которой тело притягивается к Земле, называется силой тяжести...

Studopedia.info - Студопедия - 2014-2024 год . (0.009 сек.) русская версия | украинская версия