Ячейка ГолеяДругие тепловые приемники Ячейка Голея
Ячейка Голея (рис. 7.1) является другим тепловым приемником, который состоит из герметичной газонаполненной капсулы (обычно используют ксенон из-за его низкой теплопроводности), изготовленной таким образом, что при расширении нагреваемого фотонным излучением газа деформируется гибкая мембрана, на которой закреплено зеркало. -Смещение зеркала вызывает смещение светового пучка, которым оно освещается, что вызывает изменение тока на выходе фотоэлемента, на который падает отраженный от зеркала свет. - В современных ячейках Голея вместо фотоэлемента используется твердотельный фотодиод, а для освещения зеркала служит светодиод. Надежность и стабильность такой конструкции намного выше, чем у первых приемников Голея, в которых использовались вольфрамовая лампа накаливания и вакуумный фотоэлемент. Чувствительность ячейки Голея ограничена только температурным шумом теплообмена между поглощающей пленкой и газом, заполняющим приемник, поэтому можно получить очень высокую чувствительность (D *» 3´109 см×Гц1/2Вт–1 и вольт-ваттная чувствительность 105 - 106 В/Вт). Время фотоотклика довольно велико, порядка 15 мс. Приемник может применяться только в стационарных лабораторных установках, так как он очень хрупок и чувствителен к вибрациям.
Рис. 7.1. Ячейка Голея
Недавно появилось сообщение о создании нового миниатюрного приемника Голея, изготовленного с применением микротехнологий. Для обнаружения термического расширения малого газового объема был использован туннельный датчик перемещения. NEP опытного образца прибора была лучше 3´10–10 ВтГц–1/2 при 25 Гц.
7.2. Тепловые приемники на p—n - переходах
Для измерения температуры используется датчик на p—n - переходе с постоянным прямым смещением. Получим выражение для . В рамках диодной теории выпрямления на p—n-переходе зависимость тока через переход от внешнего напряжения определяется следующим выражением:
.
Т.к. ток , то
Тогда .
Величина обратного тока насыщения в п\п диоде определяется следующим выражением:
Здесь и – концентрации дырок в n -области и электронов в p -области, диффузионные длины, времена жизни. При этом Тогда .
Таким образом, температурная зависимость напряжения на диоде с прямым смещением задается формулой:
, (7.1)
где Is – обратный ток насыщения, а Eg – ширина запрещенной зоны. В кремниевом диоде с Eg = 1,12 эВ и рабочим напряжением 0,6 В при комнатной температуре ток примерно удваивается каждые 10ºC, а напряжение линейно уменьшается с коэффициентом примерно 2 мВ/ºC. Например, в диодном датчике температуры фирмы OMEGA Engineering при токе прямого смещения 10 мкА в температурном интервале более 100 K это уменьшение практически линейно и описывается выражением
, (7.2)
где V выражается в вольтах. Применение диодов из поликристаллического Si описано в нескольких работах. Описаны и линейки и матрицы. Ueno и др. изготовили монолитную МФП размером 160´120 элементов. Каждый элемент содержал p+—p—n+ диод из поликремния, схему считывания и микромостик для теплоизоляции. Параметры приемника изображения приведены в табл. 7.1. Показано, что выбор поликремния в качестве чувствительного материала позволяет производить приемники изображения, используя возможности современной технологии производства больших интегральных схем Si, а, следовательно, реализовать недорогие ИК-камеры.
Таблица 7.1. Характеристики неохлаждаемых ИК МФП
|