Задание 2. Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (НИИПМ) был создан на основании Постановления ЦК КПСС и Совета Министров СССР № 78-27 от

Экскурсия в ОАО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ».

 

Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (НИИПМ) был создан на основании Постановления ЦК КПСС и Совета Министров СССР № 78-27 от 24.01.61 г. Со специализацией в области научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок по созданию механизированных линий и отдельных видов технологического и испытательного оборудования для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Целью данного похода, было наглядное получение сажи содержащей углеродные нанотрубки. Сажа образуется при распылении графитового электрода в электрической дуге.

Установка,на которой получали сажу, было собрана в ВГУ в 2007 году.

Рис.6. Установка электродугового испарения для пол учения углеродных нанотрубок.

Анод представляет собой графитовый стержень диаметром ~ 6 мм, диаметр

графитового катода ~ 9 мм. Т.к. в процессе электродугового испарения

происходит распыление анода, то анод длиннее катода.

Грубо говоря процесс получения сажи состоит из 6 этапов:

1. В камере создается вакуум. Давление падает до 10Па. Ток поджима должен быть равен 99А. Напряжение равно 22В.

2. Напуск гелия.

3. Снова создаем вакуум, чтобы создать атмосферу.

4. Снова заполняем камеру гелием. Рабочий ток равен 95±3А. Uраб=24В. Подвижный катод опускается к аноду. На определенном растоянии начинает искать контакт. На расстоянии между катодом и анодом ~ 1мм загорается электрическая дуга.

5. Продукты распыления осаждаются на катоде и на стенках камеры в виде фуллереновой сажи с нанотрубками. Выброс на катоде слишком тяжелый и плотный по сравнению с сажей, он выбрасывается.

6. Завершающий режим. Разгерметизация. Катод поднимается наверх. Сажу собирали пылесосом.

Рис.7.Полученная сажа.