И СТРУКТУР ЭЛЕКТРОНИКИ

6. Повторить п. 2-5 для ADP образца (фото 2), поставив фотодиод после соответствующего модулятора.

МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ

КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ ЗОЛОТОГО ПОКРЫТИЯ

И СОСТАВА ОЛОВЯННО-СВИНЦОВЫХ ПРИПОЕВ

РАДИОИЗОТОПНЫМ МЕТОДОМ

 

Методические указания

к выполнению лабораторной работы № 5

для студентов очной формы обучения

специальности 210104 “Микроэлектроника

и твёрдотельная электроника

 

 

Брянск 2008

УДК 621.1.53.08

Методы исследования материалов и структур электроники.

Контроль толщины золотого покрытия и состава оловянно-свинцовых припоев радиоизотопным методом: методические указания к выполнению лабораторной работы № 5 для студентов очной формы обучения специальности 210104 – «Микроэлектроника и твёрдотельная электроника». – Брянск: БГТУ, 2008. – 25 с.

 

Разработал: Ю.Г. Сахаров

канд. физ.-мат. наук, доц.

 

Рекомендовано кафедрой «Электронные, радиоэлектронные и электротехнические системы» БГТУ (протокол № 6 от 07.12.07)

 

 

1. Задачи работы:

1. Выяснить назначение и область применения металлизации в производстве транзисторов и интегральных схем.

2. Ознакомиться с физическими основами радиоизотопных методов контроля.

3. Ознакомиться с устройством, принципом действия и назначением радиоизотопного толщиномера РТВК-2К.

4. Освоить методику контроля толщины золотого покрытия деталей интегральных схем и состава оловянно-свинцовых припоев по интенсивности потока обратно рассеянного бета-излучения.

 

Продолжительность работы: - 4 часа.

Теоретическое введение

Общая характеристика радиоизотопных методов контроля

Радиоизотопные приборы являются неотъемлемым элементом многих систем технологического контроля и автоматизации. Многим методам контроля, основанным на ионизирующем излучении, альтернатива сегодня не найдена.

Подтверждением этого являются радиоизотопные толщиномеры материала. Наряду с радиоизотопными толщиномерами, в которых применяется радионуклидный источник излучения, используются и рентгеновские (источник излучения — рентгеновская трубка). Однако радиоизотопные толщиномеры имеют большой диапазон измеряемых толщин, в то время как рабочий диапазон рентгеновских толщиномеров лежит в середине рабочего диапазона радиоизотопных. Кроме того, в рентгеновских толщиномерах необходимо применять специальные схемы стабилизации напряжения и тока рентгеновской трубки. В радиоизотопных толщиномерах, напротив, радиоактивный распад идет постоянно и никакие схемы стабилизации не требуются, за исключением введения поправки на снижение активности источника со временем.

Радиоизотопные толщиномеры применяются во многих отраслях промышленности, в частности при производстве бумаги, полимерных пленок, в системах автоматического регулирования толщины металла на прокатных станах.

В аналитической лаборатории службы контроля качества ЗАО «Кремний-Эл» по интенсивности потока обратно рассеянного бета-излучения производится контроль толщины золотого покрытия ленты КМКЗ, ФМФЗ, ножек КТ-1, КТ-2, а также состава припоев типа ПОС. Для этих измерений используется радиоизотопный толщиномер выборочного контроля РТВК-2К.