Значения максимальных коэффициентов распыления меди ионами инертных
газов и соответствующие им энергии Е0
Рисунок 1.17 – Зависимость коэффициентов распыления от энергии ионов аргона: 1 -серебро, 2 - медь, 3 - молибден
При изменении угла падения ионов от 0o (нормальное падение ионов) до 90o наблюдается значительное увеличение k в области углов 50o − 70o. На рис.1.18 приведена зависимость коэффициента распыления различных материалов ионами Ar при изменении угла падения.
Рисунок 1.18 – Зависимость коэффициента распыления различных материалов ионами Ar при изменении угла падения
Коэффициент распыления растет также с увеличением массы бомбардирующих ионов (см. рис. 1.19)
Рисунок 1.19 – Зависимость коэффициента распыления мишени из меди и серебра от атомного номера бомбардирующих ионов
Очевидно, что с увеличением общего тока в пучке число распыленных частиц растет. Сами частицы, покидающие мишень под действием ионной бомбардировки, имеют некоторое распределение в пространстве и распределение по энергиям, причем средняя энергия существенно больше средней тепловой энергии при той температуре, при которой происходит распыление.
|
