Изменение кон-центрации ХАЧ в слое за время . При этом создается ХАЧ, а убыль составит .

- поток ХАЧ, втекающий в слой , а - вытекающий. Тогда - уравнение непрерывности для ХАЧ в плазме. (31)

Поток ХАЧ - газовый и - диффузионный.

Тогда поток ХАЧ (32)

Где – коэффициент диффузии ХАЧ.

Подставив (32) в (31) получим

- уравнение непрерывности для ХАЧ. (33)

Диссоциация молекул рабочего газа электронным ударом определяет скорость генерации энергетических и химически активных частиц: где ‑ концентрация электронов, ‑ концентрация молекул, образующих ХАЧ, ‑ энергия электронов, ‑ масса электрона, ‑ пороговая энергия процесса диссоциации, ‑ сечение взаимодействия электронов и молекул, ‑ функция распределения электронов по энергиям. Для максвелловского распределения электронов по энергиям получаем

(34)

Скорость исчезновения ХАЧ вследствие процессов рекомбинации имеет вид:

, (35)

где ‑ соответственно диаметр, температура, молекулярная масса и концентрация ХАЧ, N_Г = 8,3 Дж/(моль×К) ‑ концентрация молекул в моле объема газа, ‑ концентрация атомов вещества газа.

Если - начальная, а - конечная концентрации ХАЧ, то , тогда (36)

Процессы диссоциации и рекомбинации в плазме находятся в равновесии, приравняв (34) и (36), получим уравнение непрерывности для ХАЧ:

, (37)

Где.

Решая уравнение (37), находим концентрацию ХАЧ:.

Механизмы формирования химически активной плазмы и образование ХАЧ.