Диффузионный поток ХАЧ к поверхности
где Концентрация ХАЧ у поверхности обрабатываемого материала, ‑ коэффициент диффузии ХАЧ, - толщина стационарного диффузионного слоя. Сравнив (41) и (42) получим:
Тогда, где - приведенная константа скорости химической реакции. Области протекания химических реакций. Диффузионное сопротивление,- сопротивление массопереносу при движении частиц (диффузии) в стационарном диффузионном слое.
В зависимости от соотношения диффузионного, кинетического сопротивлений, существуют две области протекания реакций (диффузионная и кинетическая). Диффузионная область. При Здесь - характерный размер реактора, - длина свободного пробега молекул. Из этого следует, что скорость реакции определяется скоростью диффузии ХАЧ к поверхности – диффузионная область.
Рис. 10 Стационарно диффузионный слой. Где NH ‑ критерий Нуссельта, а. Диффузионная область существует при высоких температурах и давлениях и малых скоростях газового потока. Скорость и равномерность обработки поверхности определяется величиной и распределением и зависит от, слабо зависит от температуры и состояния поверхности и сильно зависит от скорости газового потока.
|
- (42)
‑ концентрация ХАЧ в объеме реактора за пределами 
,
, где δ CDC = β, ‑ коэффициент массопереноса,
- кинетическое сопротивление,- сопротивление массопереносу при движении частиц (молекулярным потоком газа)
тогда 
> 
, а 
и 
