Зондовая микроскопия (Scanning Probe Microscopy - SPM).
Как видно из названия, общим для них является наличие зонда, располо- женного в непосредственной близости от исследуемой поверхности, и скани- рующего механизма, с помощью которого происходит последовательный тес- тинг поверхности от точки к точке, а затем на мониторе построчно строится изображение. Заметим также, что существуют и другие, пучковые методы зондирования и сканирования поверхности (в частности, электронными, рентгеновскими пучка- ми), но под SPM понимают только те из них, которые используют твердотель- ные зонды. Еще одно важное направление развития семейства зондовых методов - пе- реход от пассивного исследования к активному вмешательству и перестройке, модификации поверхности. При этом зонд применяется как атомный пинцет, захватывающий и переносящий атомы в нужное место. Фактически речь идет о революционной смене многовековой технологической парадигмы: переходе от методов обработки с отсечением ненужного материала от заготовки к безотход- ной поатомной сборке необходимого изделия (или, как теперь это обозначают для краткости в англоязычной литературе, от технологий типа "сверху вниз" к технологиям типа "снизу вверх"). Существуют и развиваются методы локаль- ной нанолитографии, использующие зондовые методы (см. рис. 4.1).
|
