Образец 2-2

 

Напыление TiN на ВК6

 

Образец 1-2

Расчет ОКР и микроискажений фазы TiN

 

1 Начальная обработка профилей TiN (111) и (222)

 

Расщепление мультиплета (111)

 

 

 

1.2 Расщепление мультиплета (222)

 

 

 

 

 

1.3 Расчет ОКР и микроискажений для TiN (стехиометрия А=4.241анг.)

 

Результат совместной (связанной) реаппроксимации четырех профилей:

L BC BG P Z b

Эталон 1 0.074 0.148 0.266 0.083

Эталон 2.014 0.141 0.130 0.487 0.088

Образец 1 0.491 0.541 0.428 0.348 0.816

Образец 2.014 2.448 0.977 0.779 0.996 2.775

L - порядок отражения, BC и BG - интегральные ширины компонент функции Фойгта

(Коши и Гаусс, градусы 2*TETA); P,Z-параметры соответствующего псевдофойгтиана.

b - полная физическая интегральная ширина образца (градусы 2*TETA).

Однородная среднеквадратичная микродеформация (eu) 0.246 %

Хаотическая (случайная) среднеквадратичная микродеформация (er) 3.074 %

Volume-weighted средний диаметр сферического блока 33.0 нм

 

Образец 2-2

Расчет ОКР и микроискажений фазы TiN

 

2 Начальная обработка профилей TiN (111) и (222)

 

Расщепление мультиплета (111)

 

 

 

 

1.2 Расщепление мультиплета (222)

 

 

 

1.3 Расчет ОКР и микроискажений для TiN (стехиометрия А=4.241анг.)

 

Результат совместной (связанной) реаппроксимации четырех профилей:

L BC BG P Z b

Эталон 1 0.108 0.130 0.402 0.082

Эталон 2 0.136 0.132 0.469 0.088

Образец 1 0.120 0.853 0.087 0.421 0.851

Образец 2 0.201 1.775 0.072 0.868 1.814

L - порядок отражения, BC и BG - интегральные ширины компонент функции Фойгта

(Коши и Гаусс, градусы 2*TETA); P,Z-параметры соответствующего псевдофойгтиана.

b - полная физическая интегральная ширина образца (градусы 2*TETA).

Однородная среднеквадратичная микродеформация (eu) 0.502 %

Хаотическая (случайная) среднеквадратичная микродеформация (er) 0.519 %