TiN TO5
Напыление TiN на ВК6
Образец 1-2 Расчет ОКР и микроискажений фазы TiN
1 Начальная обработка профилей TiN (111) и (222)
Расщепление мультиплета (111)
Для расчета: (111) Ge TO1 TiN TO2
(222) Ge TO4
TiN TO8
1.2 Расщепление мультиплета (222)
1.3 Расчет ОКР и микроискажений для TiN (стехиометрия А=4.241анг.)
Результат совместной (связанной) реаппроксимации четырех профилей: L BC BG P Z b Эталон 1 0.074 0.148 0.266 0.083 Эталон 2.014 0.141 0.130 0.487 0.088 Образец 1 0.491 0.541 0.428 0.348 0.816 Образец 2.014 2.448 0.977 0.779 0.996 2.775 L - порядок отражения, BC и BG - интегральные ширины компонент функции Фойгта (Коши и Гаусс, градусы 2*TETA); P,Z-параметры соответствующего псевдофойгтиана. b - полная физическая интегральная ширина образца (градусы 2*TETA). Однородная среднеквадратичная микродеформация (eu) 0.246 % Хаотическая (случайная) среднеквадратичная микродеформация (er) 3.074 % Volume-weighted средний диаметр сферического блока 33.0 нм
Образец 2-2 Расчет ОКР и микроискажений фазы TiN
2 Начальная обработка профилей TiN (111) и (222)
Расщепление мультиплета (111)
Для расчета: (111) Ge TO1 TiN TO2
(222) Ge TO4 TiN TO5
1.2 Расщепление мультиплета (222)
1.3 Расчет ОКР и микроискажений для TiN (стехиометрия А=4.241анг.)
Результат совместной (связанной) реаппроксимации четырех профилей: L BC BG P Z b Эталон 1 0.108 0.130 0.402 0.082 Эталон 2 0.136 0.132 0.469 0.088 Образец 1 0.120 0.853 0.087 0.421 0.851 Образец 2 0.201 1.775 0.072 0.868 1.814 L - порядок отражения, BC и BG - интегральные ширины компонент функции Фойгта (Коши и Гаусс, градусы 2*TETA); P,Z-параметры соответствующего псевдофойгтиана. b - полная физическая интегральная ширина образца (градусы 2*TETA). Однородная среднеквадратичная микродеформация (eu) 0.502 % Хаотическая (случайная) среднеквадратичная микродеформация (er) 0.519 %
|
