Студопедия Главная Случайная страница Обратная связь

Разделы: Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

Перенос массы (ионы).





Процессы, рассматриваемые в вакуумной и плазменной электронике

Таблица 1

Процессы электро-ники Тип Частицы Заряд, Кл Масса, кг Вид деятельности Характеристика деятельности
Вакуум-ная электро-ника Электрон e - 1,6∙10-19 0,91∙10-30 Перенос массы Ничтожно мал
Перенос заряда Только отрицательный заряд Величина заряда не превышает e -.
Энергетическое воздействие. Участвует в потоке при переносе заряда и энергии.
Плаз-менная элект-роника Электрон e - 1,6∙10-19 0,91∙10-30 Перенос массы Ничтожно мал.
Перенос заряда Только отрицательный заряд. Величина заряда не превышает e -.
Энергетическое воздействие. Участвует в потоке при переносе заряда и энергии.
Участие в элементарных процессах Участвует в образовании ионов, ион-радикалов и заряда поверхности.
Ионы, А-, А--… А+, А++ F-=1,6∙10-19 H+=1,6∙10-19 F-=3,04∙10-25 Cl-=5,66∙10-26 H+=1,67∙10-27 Xe++=2,10∙10-25 Перенос массы Т.к.ma>>me- то перенос значителен. Используется в процессах нанесения, удаления.
Перенос заряда Заряд кратен e -. Возможность переноса заряда обоих знаков.
Энергетическое воздействие. Участвует в образовании заряда поверхности и переносе энергии.
Участие в элементарных процессах Участвует в образовании ХАЧ и их исчезновении.
Ион-радикалы R-, R--… R+, R++ CCl3+=1,6∙10-19 CF3+=1,6∙10-19 CCl3+=1,9∙10-25 CF3+=9,2∙10-25 Перенос массы Мало используется.
Перенос заряда Мало используется.
Энергетическое воздействие Мало используется.
Участие в элементарных процессах Основное использование в процессах очистки, травления, плазмохимии.
Атомы А молекулы М - - H=1,67∙10-27 Xe=2,10∙10-25 H2=3,34∙10-27 Xe=2,10∙10-25   Участие в элементарных процессах Поддержание электронейтральности плазмы и непрерывности ХАЧ (образование ионов, ион-радикалов).


Плазменная электроника

1. e-– электроны и процессы с их использованием.

2. АВ А+В – диссоциация с образованием атомов.

3. e- А A+ - Ионизация с образованием атомарных ионов

A- и процессы с их использованием.

4. e- АВ (A B)- - Ионизация с образованием молекулярных (A B)+ ионов и процессы с их использованием.

5. e- АВС A B- С - Химические реакции с образованием ион-

A B+ С радикалов и процессы с их использованием.

1. Перенос зарядов (e-, ионы).

Перенос массы (ионы).

3. Перенос импульса (mV, энергии ).

4. Использование 1, 3 – электронная обработка поверхности материалов (изменение заряда и состояния поверхности и т.д.).

5. Использование 2, 3 – ионная обработка поверхности материалов (изменение заряда, состояния поверхности).

6. Использование 1, 2, 3 – плазменная обработка поверхности материалов (микроэлектроника, сварка, модифицирование…)

7. Использование 1, 2, 3 с протеканием химических реакций (плазмохимия – создание новых материалов, соединений).

Плазменная электроника - наука о взаимодействии частиц плазмы (особого состояния вещества) между собой, частицами другого вещества, с электромагнитными полями, о методах создания и использования её в приборах и устройствах науки и техники.

Плазма - частично или полностью ионизованный газ, в котором концентрации положительных, отрицательных и нейтральных частиц практически одинаковы. Впервые это определение было предложено американскими физиками И. Ленгмюром и А. Тонксом в 1923г. при исследовании процесса ионизации газа.

Газы образующие плазму: водород, аргон, азот, неон, ксенон, криптон

Внешнее воздействие на газ:

· Температура = термическая плазма;

· Электрический разряд = газоразрядная плазма;

· Внешние поля (электрическое, магнитное) = полевая плазма;

· Корпускулярное излучение (лазеры, космические лучи, элементарные частицы) = квантовая плазма;

· Гипотетически гравитация = гравитационная плазма. Гравитация приводит к значительному повышению плотности вещества → «вырожденное состояние» (электроны приобретают энергию, больше энергии ионизации)

Увеличение кинетической энергии: энергия внешнего воздействия (термическая kT; полевая eE; квантовая ;;гравитационная g) приводит к повышению энергии (кинетической) частиц плазмы, следствием чего является увеличение скорости их движения (V), импульса (m V). Это приводит к изменению хаотичного движения частиц, увеличению вероятности их столкновения и протекания элементарных процессов. В результате образуется плазма как система частиц: нейтральных (атомы, молекулы) и заряженных (электроны, ионы, ион-радикалы).


Рис. 1 Плазма в природе и технике.







Дата добавления: 2015-08-10; просмотров: 388. Нарушение авторских прав; Мы поможем в написании вашей работы!




Кардиналистский и ординалистский подходы Кардиналистский (количественный подход) к анализу полезности основан на представлении о возможности измерения различных благ в условных единицах полезности...


Обзор компонентов Multisim Компоненты – это основа любой схемы, это все элементы, из которых она состоит. Multisim оперирует с двумя категориями...


Композиция из абстрактных геометрических фигур Данная композиция состоит из линий, штриховки, абстрактных геометрических форм...


Важнейшие способы обработки и анализа рядов динамики Не во всех случаях эмпирические данные рядов динамики позволяют определить тенденцию изменения явления во времени...

Виды сухожильных швов После выделения культи сухожилия и эвакуации гематомы приступают к восстановлению целостности сухожилия...

КОНСТРУКЦИЯ КОЛЕСНОЙ ПАРЫ ВАГОНА Тип колёсной пары определяется типом оси и диаметром колес. Согласно ГОСТ 4835-2006* устанавливаются типы колесных пар для грузовых вагонов с осями РУ1Ш и РВ2Ш и колесами диаметром по кругу катания 957 мм. Номинальный диаметр колеса – 950 мм...

Философские школы эпохи эллинизма (неоплатонизм, эпикуреизм, стоицизм, скептицизм). Эпоха эллинизма со времени походов Александра Македонского, в результате которых была образована гигантская империя от Индии на востоке до Греции и Македонии на западе...

Внешняя политика России 1894- 1917 гг. Внешнюю политику Николая II и первый период его царствования определяли, по меньшей мере три важных фактора...

Оценка качества Анализ документации. Имеющийся рецепт, паспорт письменного контроля и номер лекарственной формы соответствуют друг другу. Ингредиенты совместимы, расчеты сделаны верно, паспорт письменного контроля выписан верно. Правильность упаковки и оформления....

БИОХИМИЯ ТКАНЕЙ ЗУБА В составе зуба выделяют минерализованные и неминерализованные ткани...

Studopedia.info - Студопедия - 2014-2025 год . (0.008 сек.) русская версия | украинская версия