АННОТАЦИЯ
ТЕОРИЯ И РАСЧЕТ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Раздел: Полевые транзисторы Часть II Лабораторный практикум
Москва 2001 АННОТАЦИЯ В настоящем пособии приводятся описания лабораторных работ, предназначенных для детального и углубленного изучения физических процессов в приборах и структурах современной полупроводниковой электроники - полевых транзисторах с управляющим переходом и МДП-структурой, вольт-фарадных характеристик структур металл - диэлектрик - полупроводник. Работы предназначены, главным образом, для студентов специальности 2001 ("Электроника и микроэлектроника ") по направлению 5507 (”Электроника и микроэлектроника”).
Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС) 2001
ОСНОВНЫЕ ПРАВИЛА ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ВЫПОЛНЕНИИ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ - Выполнение лабораторных работ связано с использованием электрорадиоизмерительных приборов и стендов, являющихся источниками повышенной опасности, так как некоторые элементыих находятся под высоким напряжением. Поэтому к лабораторным работам студенты допускаются только после инструктажа по технике беэо-пасности, о получении которого должны свидетельствовать их личные подписи в специальном журнале. - Студент, работающий в лаборатории, обязан руководствоваться инструкциями и всеми дополнительными указаниями преподавателей о соблюдении мер безопасности при работе с установками. Выполнение работ в отсутствии преподавателя или лаборанта запрещается. - Студенты, лично не выполняющие правила техники безопасности, или допускающие их нарушения в отношении других лиц, отстраняются от выполнения работ и привлекаются к ответственности. - Запрещается загромождать столы и рабочее место посторонними предметами (сумками, портфелями, чемоданами, одеждой) и приборами не относящимися непосредственно к выполняемой работе. - Перед выполнением практической части лабораторного задания необходимо внимательно ознакомиться с описанием работы, схемой включения приборов, обратив особое внимание не цепи, находящиеся под повышенным напряжением. - Прежде, чем включать всеть электрорадиоизмерительные приборы и стенды, необходимо убедиться в наличии надежного зануления корпусов приборов. Работа с незануленными или неисправными приборами, установками и стендами, не имеющими защитных кожухов – запрещается. - Первое включение собранной схемы, а также ее включение после внесения изменений производится только с разрешения преподавателя или лаборанта. - Пользоваться, кабелями питания с поврежденной изоляцией проводников, вилок, разъемов, а также поврежденными штепсельными розетками запрещается. - Все производимые в схеме установки изменения, снятие испытуемых приборов и переключения должны осуществляться только в полностью обесточенных цепях. После подачи напряжения прикосновение к открытым токоведущим частям схемы или исследуемых полупроводниковых приборов запрещается. - При пользовании переносными электрорадиоизмерительными приборами (например, тестерами), последние должны располагаться на стеллажах или столах. Запрещаемся во время измерений держать эти приборы в руках или на коленях. - Запрещается оставлять без надзора включенные установки и приборы. - Запрещается бесцельное хождение no лаборатории, посторонние разговоры, отвлечение других от выполняемой работы. - При обнаружении неисправности в оборудовании (погасание индикаторной дампы, искрение, дым и т.п.) или резком зашкаливании измерительных приборов необходимо принять меры к немедленному обесточиванию приборов и устранению неисправности вместе с преподавателем иди лаборантом и по их указаниям. - Если произошел несчастный случай, то необходимо немедленно отключить установку от сети, сообщить о случившемся преподавателю иди лаборанту и оказать первую помощь пострадавшему.
Лабораторная работа №7
Изучение статических вольт-амперных характеристик полевых транзисторов с затвором в виде p-n перехода и барьера Шоттки.
(4 часа) I. Цель работы
Изучение статических вольт-амперных характеристик и определение основных параметров полевых транзисторов с затвором в виде p-n перехода и барьера Шоттки.
II. Введение
Полевой транзистор с p-n переходом в качестве затвора выполняет функцию резистора, управляемого напряжением. Проводимость канала полевого транзистора с p-n переходом в качестве затвора определяется основными носителями, поэтому его также называют «униполярным» транзистором. Принцип действия полевого транзистора типа металл – полупроводник (МП-транзистор) идентичен принципу работы полевого транзистора с p-n переходом в качестве затвора. Разница состоит лишь в том, что в МП-транзисторе в качестве затвора использован выпрямляющий контакт металл-полупроводник (барьер Шоттки). На рис.1 представлены схемы неуправляемого резистора (рис.1, а), полевого транзистора с p-n переходом (рис. 1,б) и МП-транзистора (рис.1,в). Особенностью работы полевых транзисторов с p-n переходом и МП-транзисторов является то, что управление выходным током осуществляется за счет изменения геометрических размеров канала, а, следовательно, его полной проводимости. Полевые транзисторы обладают достоинствами при их использовании в аналоговых переключателях, усилителях с высокоомным входом, СВЧ-усилителях и интегральных схемах. Они имеет более высокое входное сопротивление, чем биполярные транзисторы. Так как полевые транзисторы являются униполярными приборами, они не чувствительны к эффектам накопления неосновных носителей, и поэтому имеют более высокие граничные частоты и скорости переключения. Полевой транзистор с p-n переходом в качестве затвора представляет собой проводящий канал с двумя омическими контактами – стоком и истоком. Третий электрод структуры – затвор – образует выпрямляющий с каналом p-n переход. Сопротивление канала будет изменяться с изменением толщины области пространственного заряда (ОПЗ), распространяющейся в канал. Рассмотрим основные режимы работы ПТ на модели проводящего n-канала, ограниченного двумя р+областями. а) Напряжения прикладываемые к электродам:UС-напряжение поданное на электрод сток; UЗ-напряжение поданное на затвор; UИ-напряжение на истоке. На рис.2а указаны основные размеры, характеризующие рассматриваемую структуру: длина канала L; его толщина a, а также локальная ширина обедненного слоя h и соответствующая локальная толщина проводящего канала b при условии, что UС=UЗ=UИ=0. В отсутствии напряжений смещения прибор находится в термодинамическом равновесии, и все токи равны нулю. Ширина ОПЗ в этом случае определяется только контактной разностью потенциалов и уровнем легирования областей n и р+: WОПЗ1=f(jk). б) UС = UИ = 0, UЗ<0 (рис.2 б). Полярность приложенных напряжений соответствует n-канальному полевому транзистору (для p-канального прибора полярность напряжений питания должна быть противоположной). В этом случае р+n переход оказывается обратно смещенным и WОПЗ2= f(jk+UЗ) > WОПЗ1 и, следовательно, толщина канала уменьшилась. в) UИ = 0, UС>0, UЗ<0 (рис.2 в). При таком режиме работы транзистора ширина ОПЗ (и следовательно толщина канала) со стороны стока и истока будет разной, поскольку: со стороны истока р+n переход будет находится под потенциалом jk+UЗ и WОПЗ= f(jk+UЗ), а со стороны стока добавляется потенциал стока (обратное смещение р+n переход) на и WОПЗ= f(jk+UЗ+UС). При фиксированном напряжении на затворе (нулевом или отрицательном) и дальнейшем увеличении напряжения на стоке возникает момент, когда область пространственного заряда занимает весь канал (рис.2 г). Напряжение на стоке в этом случае называется напряжением стока насыщения UCнас, а протекающий в канале ток – током стока насыщения IСТ НАС. Напряжение отсечки при котором канал перекрывается областью пространственного заряда равно: Uотс=jk+UЗ+UСнас. При дальнейшем увеличении напряжения на стоке ток стока изменяется слабо и остается примерно равным току насыщения до тех пор, пока не начнется лавинный пробой p+n-диода затвор-канал, после чего ток стока резко возрастает при увеличении напряжения. Типичные вольт-амперные характеристики полевого транзистора с p-n переходом представлены на рис. 3. На этих характеристиках следует различать четыре области: линейную (при малых напряжениях на стоке), где ток стока пропорционален напряжению на стоке; переходную область, более слабого роста тока из-за полевой зависимости подвижности; область насыщения, где ток стока IC не зависит от напряжения стока; область пробоя, где ток стока стремительно растет при сравнительно небольших приращениях напряжения на стоке.
Проведем анализ вольт-амперных характеристик длинноканального (L>>a) полевого транзистора с p-n переходом, воспользовавшись следующими предположениями: 1) приближением плавного канала; 2) независимостью подвижности носителей заряда от электрического поля. Учитывая симметрию модели ПТ-транзистора с р+-n переходом, рассмотрим только верхнюю половину полевого транзистора (рис. 4). Приближение плавного канала состоит в том, что для распределения потенциала в обедненном слое можно записать одномерное уравнение Пуассона, решив которое можно найти потенциал в любой плоскости области пространственного заряда: (1) где Ey – поперечное электрическое поле; r(y) – распределение плотности зарядов, зависит от распределения легирующей примеси, r(y)=qf(ND). Например, для равномерно легированного донорами с концентрацией ND канала r(y)=qND. Интегрируя выражение (1) получим выражение для поля Еy: Константа определяется из условия резких границ: поле существует только в области пространственного заряда, вне его поле равно нулю: y=h, Eh=0: , т.е. Обозначив получим, после второго интегрирования выражение для потенциала в любой плоскости y-U(y): и при y=h, то есть на границе области пространственного заряда: Если ширина области пространственного заряда занимает всю толщину канала, y=a, то напряжение при котором реализуется этот случай называется напряжением отсечки: (2) Для вывода и анализа ВАХ воспользуемся дифференциальным законом Ома: jст=s(y)Ex, где jст - плотность тока, протекающего через канал, который называется током стока, s(y)=qn(y)mn – удельная электропроводность канала, зависящая от распределения электронов по толщине канала. Интеграл плотности тока по всей толщине проводящего канала от y=h до y=a определяет полный ток стока (3) где z – ширина канала. После некоторых преобразований, выражение для плотности тока запишется в виде: , (4) где , для однородно легированного канала (5) При фиксированном напряжении на затворе - UЗ максимальное значение тока (ток насыщение IС.НАС) равно: Рассмотрим физическую модель возникновения тока насыщения. С увеличением напряжения стока до UС.НАС электрическое поле в канале со стороны стока достигает критического значения ЕКРИТ, скорость электронов – скорости насыщения, а ток транзистора начинает насыщаться. При дальнейшем увеличении напряжения стока (UC>UС.НАС) область пространственного заряда расширяется к стоку, а место, где электроны впервые достигают скорости насыщения, смещается в противоположном направлении, т.е. к истоку. По мере продвижения от истока к стоку потенциал в канале растет, ширина ОПЗ увеличивается, а проводящий канал сужается. Но поскольку скорость электронов в этой области уже не зависит от электрического поля и равна скорости насыщения, для компенсации этого сужения канала и обеспечения сохранения полного тока концентрация электронов здесь увеличивается и становится больше концентрации доноров. Таким образом, часть канала, где скорость электронов равна скорости насыщения, оказывается отрицательно заряженной, а примыкающая к ней со стороны стока область из-за нехватки электронов – положительно. Следовательно, часть напряжения стока, избыточная над UС.НАС, падает на дипольном слое, который расширяется в стоковой части канала при дальнейшем росте напряжения на стоке. Крутизна характеристики полевого транзистора определяется как изменение тока стока при изменении напряжения на затворе. В данном случае от напряжения на затворе (при постоянном напряжении на стоке) зависят положения границ области пространственного заряда h1 и h2. Поэтому Рассчитывая частные производные, получаем общее выражение для крутизны полевого транзистора Проводимость канала определяется, как изменение тока стока при изменении напряжения на стоке при постоянном напряжении на затворе В линейной области вольт-амперной характеристики (UC®0) проводимость канала определяется выражением: (6) В области насыщения крутизна стокозатворной характеристики равна: (7) Отметим полную идентичность выражений (6) и (7). На рис.5 изображены вольтамперные характеристики реального n-канального полевого транзистора КП313. Как видно из этих характеристик при увеличении отрицательного напряжения на затворе напряжение, соответствующее началу насыщения UС.нас, уменьшается. Это обусловлено тем, что напряжение отсечки, равное Uотс=jk+UЗ+UС.нас не должно меняться. Переходные стокозатворные характеристики, рис. 6, выражают зависимость тока стока от напряжения на затворе при постоянном напряжении на стоке IСТ=f(UЗ)½Uст=const. Из этой зависимости определяется крутизна статической стокозатворной характеристики S: , которая показывает способность упрвления током стока напряжением на затворе и для данных транзисторов имеет величину порядка нескольких единиц или десятков мА/В. Приблизительно определить крутизну стокозатворной характеристики можно по тангенсу угла наклона переходной вольт-амперной характеристики: Частотные характеристики полевых транзисторов определяются двумя основными факторами: временем пролета и временем перезарядки емкости затвора RC. Граничной частотой полевого транзистора называется частота, при которой ток через входную емкость равен току эквивалентного генератора тока стока 2pСвх.fГР = SUЗ; fГР = S/2pСвх
|