Регистрируют величины Ii при текущем значении V и Iо (Ii при Vs).
Однозондовый метод Метод зондов разработанный в 1923 г. Ленгмюром позволяет непосредственно определить локальные характеристики плазмы, то есть пространственные распределения ее параметров. Регистрируется ток в плазме между измерительным электродом (зондом) и опорным электродом.
Рис. 11 Схема зондового метода и его ВАХ. V – потенциал зонда; VS – потенциал плазмы; Vf – потенциал, при котором I =0; IH – ток насыщения; A – участок, создаваемый ионным током; B – участок роста тока за счет электронной составляющей; C – участок насыщения (I = const). Ток с зонда состоит из ионной и электронной составляющих I=Ii+Ie. Измеряемый потенциал зонда (относительно опорного электрода) складывается из потенциала относительно невозмущенной плазмы Vp и потенциала плазмы в месте нахождения зонда Vs, то есть V=Vs+Vp. На участке А ток создается потоком положительных ионов Ii, на участке В ‑ рост тока за счет электронной составляющей тока Ie, на участке С ‑ постоянный ток насыщения Ie = const, при этом V=Vs. Общая величина тока с зонда: , где I 0= Ie при V=Vs – запирающее напряжение. Ii<<Ie, т.к. Ui<<Ue Регистрируют величины Ii при текущем значении V и Iо (Ii при Vs). Определяют Te из выражения:
Зная Te можно вычислить концентрацию электронов в плазме из выражения: , где S – площадь зонда, а (46)
|