Определить полное количество диффузанта (Q) введенного в процессе загонки tзаг.
Ат
см2/с
3.Определить глубину залегания диффузионного р/n-перехода после разгонки tразг.
= -1,405
x = 43,47 мкм
4. Построить графики функции распределения концентрации примеси по глубине кристаллической подложки N(x) в интервале 0–6 мкм после разгонки для параметра времени t1,t2,t3.
Распределение концентрации строим согласно функции распределения Гаусса N(x,t) = , где общее количество атомов Q найдено по формуле: . Коэффициент диффузии равен 2∙10-11 см2/с. Результаты вычислений приведены в Таблице №1.
Значение концентрации N(x,t) для времени диффузии (разгонки) t = 5, 10, 20 мин приведены в Таблице №2.
Графическая часть
Таблица №1
Таблица №2
Заключение
В рамках данной курсовой работе был проведён: расчет диффузионного электронно-дырочного перехода с помощью решения уравнений Фика применительно к стандартным технологическим условиям диффузии из газового источника с постоянной концентрацией на поверхности с последующей разгонкой до требуемой глубины залегания перехода, построен график функции распределения согласно заданным параметрам.
|