Микроинтерферометр ЛинникаПредназначение для визуальной оценки, измерения и фотографирования высоты неровностей тонкообработанных поверхностей. Основные данные Пределы измерения высоты неровности, мкм от 0,1 до 0,8. Пределы перемещения в двух взаимноперпендикулярных направлениях, мм 0-10. Цена деления шкал барабанов микрометрических винтов столика, мм 0,005. Погрешность измерения Принцип работы основан на интерференции света. В микроинтерферометре в качестве разделяющей системы используется наклонная плоско параллельная пластинка, имеющая полупрозрачное светоделительное покрытие. Половину падающего на нее света пластинка отражает, половину пропускает, вследствие чего образуются две системы волн, способных интерферировать. В результате интерференции двух систем волн в фокальной плоскости окуляра наблюдаются интерференционные полосы.
|
Пучок лучей, отраженный от пластинки 6, собирается в фокусе объектива 7 на исследуемой поверхности, после отражения от которой снова проходит через объектив 7, пластинку б и собирается в фокусе объектива 5, где наблюдается изображение исследуемой поверхности. Зеркало 9 направляет пучки лучей в визуальный тубус.
Второй пучок лучей, пройдя через разделительную пластинку 6, падает на компенсатор 10, после чего собирается в фокусе объектива 11 на эталонном зеркале 12, отразившись от которого, снова проходит через объектив 11, компенсатор 10 и падает на разделительную пластинку 6. При этом часть лучей проходит через пластинку 6 и не участвует в образовании изображения, а другая часть лучей отражается от пластинки 6 и интерферирует с лучами первой ветви микроинтерферометра, образуя резкое изображение интерференционных полос в бесконечности. Это изображение объективом 8 переносится в фокальную плоскость окуляра 13.
