Травление является фундаментальным методом удаления выбранного материала, позволяющий превращать изображение на фотошаблоне, перенесенное на фоторезист, в структурные слои. Традиционно травление подразделяется на два основных метода: мокрый и сухой, в которых в качестве травителей используются жидкие химические растворы и активные ионы или молекулы газов и паров соответственно.
В технологии МЭМС метод травления выбирается в зависимости от требуемого профиля поверхности боковых стенок или дна образующегося углубления, изотропии травления и многих других факторов. При этом мокрый способ травления до сих пор широко используется благодаря своей простоте и дешевизне.
Травление представляет собой процесс удаления поверхностного слоя объекта немеханическим способом При всем многообразии методов травления их можно разделить на две большие группы: жидкостное (химическое) травление и сухое (ионно-плазменное) травление. В основе жидкостного травления обычно лежит химическая реакция жидкого травителя и твердого тела, в результате которой образуется растворимое соединение. Сухое травление проводят в специальных газоразрядных камерах, в которых подложка обрабатывается ионами или химически активными частицами плазмы.
