В объемной технологии, в отличие от поверхностной, преимущественно используются удаление материала для формирования сравнительно толстых структурных (конструкционных) слоев, причем в большинстве технологических схем производится соединение двух или более кремниевых пластин, и подвижные элементы формируются из всего объема материала по всей его толщине. При этом в основном использовалось мокрое травление, в том числе в производстве чувствительных элементов первых инерциальных сенсоров. Основным недостатком этого метода является анизотропия травления, обусловливающая зависимость конечной геометрии от внутренней кристаллической структуры кремния и делающая невозможным производство элементов со сложной или произвольной формой. Применение глубокого ионного травления открыло совершенно новые перспективы в разработке и изготовлении инерциальных сенсоров по объемной технологии. Поскольку объемная технология позволяет получать сравнительно толстые структурные слои, в том числе из монокристаллического кремния, она обеспечивает ряд существенных преимуществ при производстве таких сенсоров: более высокую инерционную массу и большую площадь перекрывания электродов, а, соответственно, и более высокие рабочие характеристики сенсоров. Более толстые подвешенные балочные элементы обладают более высокой вне плоскостной жесткостью, что повышает их механическую стабильность - устойчивость к ударным нагрузкам и вибрациям, а также снижает вероятность их прилипания к подложке. Объемная микрообработка используется в различных технологических схемах производства инерциальных сенсоров. Ниже рассматриваются две из них как наиболее типичные, раскрывающие фундаментальные основы объемной технологии применительно к таким МЭМС.
