Электростимулированное (анодное) соединение (сращивание) стеклянных и кремниевых пластин.На рис. 3.1 показаны схема и механизм анодного соединения пластин стекло-кремний. К приведенным в контакт при температуре порядка 400оС полированным пластинам кремния и высоконатриевого стекла прикладывается постоянное напряжение порядка 1000 В. Мигрирующие в слое стекла к зоне контакта с кремнием ионы кислорода образуют прочные Si-O-Si связи, обеспечивая химическое соединение стекла с кремнием. При этом соединение начинается в точке электрического контакта, и фронт (граница возникающей зоны) соединения движется от этой точки (Рис.2).
(а) (б) Рис.3.1. Схема (а) и механизм (б) анодного соединения стекло-кремний
|
