Студопедия — ЗАДАНИЕ ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ
Студопедия Главная Случайная страница Обратная связь

Разделы: Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

ЗАДАНИЕ ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ






 

1.Для заданного химического элемента (табл. П.1.2) определить скорость ис­парения Vи для заданных значений Р и Ти.

2. Исследование распределений толщины пленки, создаваемых точечным и с малой поверхностью испарителями:

2.1. Построить график распределения плёнки по толщине d/d0 для различных значений l/h по форму­лам (2.8), (2.9).

2.2. Найти расстояние испаритель - подложка h, которое обеспе­чивает не­равномерность распределения толщины пленки , размеры подложки 30 х 48 мм.

3. Исследовать влияние расстояния испаритель-подложка h на распределение толщины пленки, создаваемого тонким кольцевым испарителем при следующих условиях: радиус кольца испарителя s = 50 мм; диапазон изменения h/s [0.5; 1.6]; диапазон изменения l\h [0; 4].

4. Исследовать влияние расстояния испаритель-подложка h на распределение толщины пленки, создаваемого дисковым испарителем при следующих условиях: радиус диска испарителя s = 50 мм; диапазон изменения h/s [0.5; 1.6]; диапазон изменения l\h [0; 4].

5. Для точечного, малой поверхностью, тонкого кольцевого и дискового испарителей найти массу навески Ме и время напыления t для получения толщины пленки d = 1 мкм в центре подложки размерами 30 х 48 мм. Массу навески (количество испаренного материала) Ме определить по формулам (2.6), (2.7), (2.13), (2.16), а время t из выражения , где A = 1 см2. Расстояние испаритель – подложка составляет 100 мм.

 

КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ

 

1. Особенности испарения материалов в вакууме. Температура испарения.

2. От каких параметров зависит скорость испарения при терми­ческом напы­лении в вакууме?

3. Назовите основные положения законов Ламберта - Кнудсена.

4. Напишите выражение для распределения пленки по толщине для испари­телей с малой поверхностью и точечных испарителей.

5. Каким образом добиться уменьшения неравномерности распре­деления пленки по толщине?

6. Преимущества испарителей с большой поверхностью.

7. С помощью рис.2.5 поясните порядок проведения процесса термовакуумного напыления.

8. Параметры, определяющие конденсацию пара на подложке.

9. Этапы роста пленки на подложке при термовакуумном напылении.

10. Параметры процесса термовакуумного напыления, определяющие свойства пленок.

11. Конструкции испарителей и требования, предъявляемые к материалам испарителей.

12. Нарисовать схему определения толщины пленки резистивным датчиком.

13. Объяснить принцип измерения характеристик диэлектрических пленок емкостным методом.

14. Рассказать особенности определения толщины пленок радиочастотным методом.

15. Ионизационный метод измерения скорости осаждения пленок.

16. Фотометрический и гравиметрический методы измерения толщин пленок.

 

___________________

 

1. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М.: Выс­шая школа, 1987.

2. Технология тонких пленок. Справочник/ Под ред. Л.Майселла и Р.Гленга. В 2 т. М.: Сов. радио, 1977.

 

 







Дата добавления: 2015-10-02; просмотров: 575. Нарушение авторских прав; Мы поможем в написании вашей работы!



Практические расчеты на срез и смятие При изучении темы обратите внимание на основные расчетные предпосылки и условности расчета...

Функция спроса населения на данный товар Функция спроса населения на данный товар: Qd=7-Р. Функция предложения: Qs= -5+2Р,где...

Аальтернативная стоимость. Кривая производственных возможностей В экономике Буридании есть 100 ед. труда с производительностью 4 м ткани или 2 кг мяса...

Вычисление основной дактилоскопической формулы Вычислением основной дактоформулы обычно занимается следователь. Для этого все десять пальцев разбиваются на пять пар...

Гидравлический расчёт трубопроводов Пример 3.4. Вентиляционная труба d=0,1м (100 мм) имеет длину l=100 м. Определить давление, которое должен развивать вентилятор, если расход воздуха, подаваемый по трубе, . Давление на выходе . Местных сопротивлений по пути не имеется. Температура...

Огоньки» в основной период В основной период смены могут проводиться три вида «огоньков»: «огонек-анализ», тематический «огонек» и «конфликтный» огонек...

Упражнение Джеффа. Это список вопросов или утверждений, отвечая на которые участник может раскрыть свой внутренний мир перед другими участниками и узнать о других участниках больше...

Признаки классификации безопасности Можно выделить следующие признаки классификации безопасности. 1. По признаку масштабности принято различать следующие относительно самостоятельные геополитические уровни и виды безопасности. 1.1. Международная безопасность (глобальная и...

Прием и регистрация больных Пути госпитализации больных в стационар могут быть различны. В цен­тральное приемное отделение больные могут быть доставлены: 1) машиной скорой медицинской помощи в случае возникновения остро­го или обострения хронического заболевания...

ПУНКЦИЯ И КАТЕТЕРИЗАЦИЯ ПОДКЛЮЧИЧНОЙ ВЕНЫ   Пункцию и катетеризацию подключичной вены обычно производит хирург или анестезиолог, иногда — специально обученный терапевт...

Studopedia.info - Студопедия - 2014-2024 год . (0.008 сек.) русская версия | украинская версия