Позитивные и негативные фоторезисторы. Разрешающая способность. Фоточувствительность. Стойкость к воздействию агрессивных факторов
ФР и вообще все резисты– это, в основном, полимеры. При облучении УФ в структуре НФР происходит дополнительная полимеризация, происходит сшивание молекул полимера, он становится нерастворимым и остается на поверхности подложки после проявления в органических растворителях. ПФР при облучении УФ становится растворимым и удаляется с подложки после проявления в щелочных растворах. Фоточувствительность. Стойкость к воздействию агрессивных факторов. Характеристики фоторезиста 1) Фоточувствительность S –величина обратно пропорциональная экспозиции достаточной для перевода ФР в растворимые/нерастворимые состояния S Е – освещенность
λ = 460Нм – 360Нм – ультрафиолет 2) Разрешающая способность – R R – максимальное число линий одинаковой ширины, разделенных промежутками, равными ширине линий, которые можно получить на 1мм. R= Часто разрешающей способностью называют минимальню ширину линии, которую можно получить при использовании данного ФР. В этом случае R измеряется в мкм. Стойкость ФР к воздействию агрессивных сред – это время, в течение которого ФР не разрушается.Тип ФР выбирается в зависимости от конкретного применения с учетом свойств негативного или позитивного ФР. Учитывают следующее: ПФР передает не предусмотренные сквозные отверстия непрозрачной части фотошаблона – проколы. НФР передает в виде островков на подложке. Там, где опасны проколы, применяется НФР. Например, проколы опасны в трехслойных конденсаторах. Там, где опасны островки, применяют ПФР.
|
- время освещения
