Тема №1. Экономический анализ как часть экономической науки

Травление

После получения фотомаски одним из способов формирования рисунка слоя ИМС является травление пленки лежащей под ФР.

Травление – разрушение материала в результате какого-либо воздействия. В технологии микросхем используется селективное (т.е. избирательное) травление. Здесь травится, то есть удаляется, часть пленки, не закрытая фотомаской.

Требования к процессу селективного травления:

Процесс должен быть избирательный, т.е. активно растворять и удалять основной слой, не взаимодействуя с материалом маски и низлежащим слоем, должен быть управляемым. Продукт реакции не должен вызывать отслоение маски по контуру,

Процесс травления характеризуется следующими параметрами:

1) Скорость травления υ_тр, колеблется от 1нм до 8 мкм/с;

2) Анизотропия- отношение скорости травления перпендикулярно плоскости подложки к скорости параллельно плоскости подложки, для разных методов изменяется от1 до 100;

3) Селективность – отношение скорости травления основного слоя к скорости травления маски. Для разных методов изменяется от 2 до 50;

4) Концентрация, состав, температура травителя или параметры плазмы.

Влажностное (химическое) - это разрушение материала слоя в результате химического взаимодействия с жидким травителем.

Особенности: влажностное химическое травление идет как вглубь так и в боковых направлениях, т.е.анизотропия практически ≈1, это приводит к расширению размеров окон за счет подтравливания основного слоя под маской. Скорость травления достаточно высокая, в зависимости от травителя от 0,1 до 8 мкм/мин.

Сухие методы травления – это ионное и плазмохимическое.

Ионное – это по существу процесс распыления материала слоя путем бомбардировки его высокоэнергитическими ионами инертных газов. Здесь скорость травления мала (0,1 – 1)нм/с, анизотропия высокая (до 100), селективность сала (2 – 5), требует повышенной толщины фотомаски.

Плазмохимическое травление - это более прогрессивный метод. Поверхность бомбардируется ионами активных газов, взаимодействующих с поверхностным слоем пластины, образуя летучие соединения, которые удаляются откачной системой. Здесь скорость (2-10)нм/с, анизотропия низкая (2-5), селективность высокая.

 

Содержание разделов и тем, включенных в программу по дисциплине

« Анализ финансово-хозяйственной деятельности »

Тема №1. Экономический анализ как часть экономической науки

Происхождение термина анализ. Предпосылки становления анализа финансово-хозяйственной деятельности. Предмет и объект исследования. Смежные науки. Типы анализа. Перспективы развития. Роль анализа в современных условиях.