Студопедия — Одержання плівок системи As-Se
Студопедия Главная Случайная страница Обратная связь

Разделы: Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

Одержання плівок системи As-Se






 

Вакуумне термічне напилення є одним з найбільш поширених методів одержання тонких фоточутливих шарів для оптичного і електрофотографічного запису інформації. Цей метод найбільш зручний і економічно виправданий при виготовленні тонких плівок з ХСН, добре задовільняє технології таких матеріалів у випадку елементарного селену та деяких простих сполук і забезпечує високу повторюваність параметрів плівок при установленому режимі напилення з однакових вихідних сполук.

Незважаючи на досягнені успіхи у вакуумних методах одержання шарів, вибір методу нанесення фоточутливих шарів, гетеро структур (ГС) - та багатошарових (БШ) структур на основі ХСН значно обмежені. Це обумовлено можливою кристалізацією окремих шарів ХСН, зміною їх складу в порівнянні з вихідними матеріалами, необхідність наносити ГС і БШ структур постійної товщини на різні типи підкладок в одному технологічному циклі (для виготовлення тонких перехідних або товстих фоточутливих шарів). Для реалізації другої умови необхідно забезпечити різні швидкості росту шарів, послідовність їх нанесення, а також високий вакуум.

Метод дискретного термічного випаровування використовується замість простого термічного випаровування у випадку, коли випаровування речовини має інконгруентний характер. Метод полягає у випаровуванні маленьких частинок речовин, які неперервно і рівномірно попадають на поверхню розжареного випаровувача. Якщо одночасно випаровується велика кількість дрібних частинок, кожна з яких перебуває у різній стадії випаровування, то при рівномірному розподілі в часі моментів їх падіння на випаровувач забезпечується середній хімічний склад пари, що відповідає складу вихідної речовини. Також можна використовувати високочастотний (ВЧ) - плазмовий, магнетронний, лазерний метод напилення, які забезпечують зберігання складу мішені та шару. Однак при цьому виникають проблеми у забезпеченні необхідних параметрів шарів і структур, що роблять ці методи корисними в окремих комбінованих режимах виготовлення шарів. Наприклад, одержання ГС методом магнетронного напилення, який здійснюється при порівняно високих робочих тисках (0,5 – 2,0 Па), не бажано внаслідок забруднення конденсатів, а також значної товщини перехідних шарів. Метод імпульсного лазерного напилення (ІЛН) (імпульси наносекундної тривалості) є одним з варіантів дискретного напилення. Але його суттєвим недоліком є точковість джерела, проблема підготовки мішеней і одержання рівномірної, порівняно великої товщини шару при запиленні великих поверхонь.

Плівки досліджуваних матеріалів виготовляли на установці ВУП-4 (див. рис.1.1). Випаровування проходило з танталового випаровувача. Швидкість конденсації V складала в середньому 8 нм/с при вакуумі 6·10-3 Па. Температура випаровувача була ~ 770 K.

 


 
 
 
 
 
 
 

Рис.1.1. Схема термічного напилення гетеро- та багатошарових

структур:

1- вакуумна камера; 2,3 – випаровувачі; 4,5 – шторки;

6,7 – підкладки зразків;

8 – обертова система [5].

 







Дата добавления: 2015-08-12; просмотров: 873. Нарушение авторских прав; Мы поможем в написании вашей работы!



Функция спроса населения на данный товар Функция спроса населения на данный товар: Qd=7-Р. Функция предложения: Qs= -5+2Р,где...

Аальтернативная стоимость. Кривая производственных возможностей В экономике Буридании есть 100 ед. труда с производительностью 4 м ткани или 2 кг мяса...

Вычисление основной дактилоскопической формулы Вычислением основной дактоформулы обычно занимается следователь. Для этого все десять пальцев разбиваются на пять пар...

Расчетные и графические задания Равновесный объем - это объем, определяемый равенством спроса и предложения...

Типовые примеры и методы их решения. Пример 2.5.1. На вклад начисляются сложные проценты: а) ежегодно; б) ежеквартально; в) ежемесячно Пример 2.5.1. На вклад начисляются сложные проценты: а) ежегодно; б) ежеквартально; в) ежемесячно. Какова должна быть годовая номинальная процентная ставка...

Выработка навыка зеркального письма (динамический стереотип) Цель работы: Проследить особенности образования любого навыка (динамического стереотипа) на примере выработки навыка зеркального письма...

Словарная работа в детском саду Словарная работа в детском саду — это планомерное расширение активного словаря детей за счет незнакомых или трудных слов, которое идет одновременно с ознакомлением с окружающей действительностью, воспитанием правильного отношения к окружающему...

Метод архитекторов Этот метод является наиболее часто используемым и может применяться в трех модификациях: способ с двумя точками схода, способ с одной точкой схода, способ вертикальной плоскости и опущенного плана...

Примеры задач для самостоятельного решения. 1.Спрос и предложение на обеды в студенческой столовой описываются уравнениями: QD = 2400 – 100P; QS = 1000 + 250P   1.Спрос и предложение на обеды в студенческой столовой описываются уравнениями: QD = 2400 – 100P; QS = 1000 + 250P...

Дизартрии у детей Выделение клинических форм дизартрии у детей является в большой степени условным, так как у них крайне редко бывают локальные поражения мозга, с которыми связаны четко определенные синдромы двигательных нарушений...

Studopedia.info - Студопедия - 2014-2024 год . (0.012 сек.) русская версия | украинская версия